Wafer sorting-晶圓導片機

Wafer sorting是我司自主研發(fā)、制造的高性能、高穩(wěn)定性、高產(chǎn)出的晶圓分選機。人工將1個裝有6寸或8寸晶圓的Cassette與5個空的open cassette放入到設備指定的Port上?？赏ㄟ^手動或自動模式，將晶圓導片到指定的位置里。

設備優(yōu)勢

• 01

  高性能視覺定位系統(tǒng)

• 02

  高性能視覺檢測系統(tǒng)

• 03

  高精度的高速生產(chǎn)模式

• 04

  滿足多樣的wafer測試需求

• 05

  高精度的高速生產(chǎn)模式

基本信息

設備尺寸：1200mm* 1200mm* 2000mm	動作流程:  1、人工Cassette 上料； 2、機器人搬運Cassette內(nèi)的Wafer至校準器 ； 3、校準器對Wafer進行校準； 4、機器人搬運校準器上的wafer至另一個cassette內(nèi)；
設備重量：2000KG
支持產(chǎn)品尺寸：6寸
故障率：＜1/3000